Primo SSC AD-RIE™是中微Primo系列第三代、也是最新一代刻蝕設備產品,能夠滿足超高產能、優異的芯片加工質量和芯片刻蝕技術可延展性等嚴苛的技術要求。Primo SSC AD-RIE™的晶圓傳遞平臺可配置多達6個單晶圓加工反應器,每個反應器可以獨立地設定加工條件,從而靈活地實現精準的工藝控制。每個反應器有極高的抽速,并有多區氣體分布、動態射頻功率以及多區溫度控制等可獨立調節的工藝參數。而在線工藝微調和穩固的腔體設計避免了高深寬比刻蝕工藝中常出現的刻蝕停止現象以及工藝飄移現象的發生,從而提高刻蝕的重復性并更容易實現反應器之間的良好匹配,能夠大大提高生產效率。